大型等離子簡介：適用于PCB生產行業(yè)，此外應用于處理大型及復雜結構的工件。

真空系統泵采用無油前級泵加羅茨泵泵組結構，即保證抽速，又保證腔體潔凈度，同時無油泵例如爪式干泵易維護、噪聲小、抽速快，相對于部分耐腐蝕的油泵來說，其維護以及運作成本大大降低，同時該泵是適合于強氧化氣體及含氟離子的特殊環(huán)境下工作的，大大提高泵體的壽命，羅茨泵的使用，是為在真空度低于1000帕時提高抽速，使之更快達到工作壓強，既分擔了單一泵體的工作壓力，又提高了效率。

自動控制系統，采用PLC進行全程控制，性能穩(wěn)定，功能齊全， 人機界面友好，采用12.1或10.4英寸觸摸屏；或采用PC加顯示器進行控制，可設定工藝過程參數，可對大量實時數據進行采集記錄、打印，還具備事件報警，配方儲存，數據報表等強大功能，可用PID模式自動控制真空度、極板溫度等。

供氣系統，采用5路氣體質量流量計，分別用來控制不同的氣體，通過一定的技術處理，使用戶在計算機操作平臺上可以方便的置入工藝生產中所需的氣量。另外我們的供氣管道采用了進口的高精度拋光不銹鋼管，內壁光滑、氣阻小，氣體的流量更加穩(wěn)定可靠。

電極系統，該設計對等離子激發(fā)