同軸電極真空爐感應(yīng)圈：感應(yīng)圈每匝之間經(jīng)過(guò)耐高壓絕緣處理，確保在真空狀態(tài)下，不打火放電。緊固感應(yīng)圈的銅螺帽沉入膠木柱內(nèi)，了螺母尖棱在真空狀態(tài)下的打火放電。采用同軸電極與感應(yīng)圈相接的結(jié)構(gòu)，可使真空爐體與同軸電極連接部位密封結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，能夠提高密封的可靠性、安全性與真空度。采用同軸電極可以節(jié)能。該產(chǎn)品現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于真空多晶硅提純?cè)O(shè)備上。