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反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳

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    1
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    9999
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認證資料 Certification Data

濰坊華美精細技術(shù)陶瓷股份有限公司

  • 聯(lián)系人:李雅新
  • 官網(wǎng)地址:www.wf-hm.com
  • 經(jīng)營模式:制造商
  • 主營產(chǎn)品:碳化硅陶瓷板,碳化硅陶瓷輥棒,噴火嘴,熱輻射間接加熱系統(tǒng),陶瓷復(fù)合管件
  • 所在地:濰坊市坊子區(qū)北大營街3號院內(nèi)
  • 供應(yīng)產(chǎn)品:19
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產(chǎn)品詳情

Product details

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳

產(chǎn)品概要: 懸臂槳,是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。KCE?系列反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳性能穩(wěn)定,在高溫環(huán)境不變形,晶圓裝載量大,適用于機器人自動裝載和搬運系統(tǒng),且其截面穩(wěn)定不變形,使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。加之與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近,應(yīng)用于LPCVD,可極大地延長維護清洗周期,并大幅減少污染物。

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳

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  • 聯(lián)系人姓名:李雅新
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