輝光離子氮化的工作過程及原理

輝光離子氮化的工作過程及原理 工作過程： 輝光離子氮化是指利用輝光放電現(xiàn)象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法，采用專用的輝光離子氮化爐以工件為陰極，爐體為陽極。當(dāng)爐內(nèi)的真空度抽至（1~0.1Pa）后再通入氨氣，使真空室內(nèi)壓力約66.65~1333.2Pa，在兩極之間加電壓為400~750V，電流密度為0.5~2.0mA/cm2的直流電。在高壓電場的作用下，產(chǎn)生輝光放電，氮?dú)獍l(fā)生部分分解形成氮和氫的正離子以及電子。具有高能量的氮離子轟擊工件表面，由動能轉(zhuǎn)化為熱能和加熱工件，與此同時氮離子吸取電子還原成原子被工件表面吸收并向內(nèi)層擴(kuò)散，離子轟擊工件表面還產(chǎn)生陰極濺射，濺射出的鐵離子與氮離子化合形成氮化鐵FeN,FeN重新附著在工件表面，然后分解成為Fe2N和Fe3N,并放出氮原子向工件內(nèi)擴(kuò)散. 原理： 輝光離子氮化是利用輝光放電原理進(jìn)行的，輝光放電是當(dāng)氣體越過電暈放電區(qū)之后，若減小外電路電阻，或提高全電路電壓，繼續(xù)增加放電功率，放電電流將不斷上升，同時輝光逐漸擴(kuò)展到兩電極之間的整個放電空間，發(fā)光也越來越明亮，當(dāng)電子能提高，則能使電暈放電過渡到輝光放電。